金融界2025年7月16日消息,国家知识产权局信息显示,工程吸气公司申请一项名为“辅助真空泵组合系统”的专利,公开号CN120322619A,申请日期为2024年02月真空泵 。
专利摘要显示,本发明涉及一种用于抽空设备室(1)的辅助泵送系统(1000),该辅助泵送系统(1000)包括:主泵(12);中间真空室(10),该中间真空室(10)通过真空导管(14)连接至主泵(12);以及高压非蒸散型吸气剂(NEG)泵,该高压非蒸散型吸气剂(NEG)泵容纳在中间真空室(10)中,其中,真空导管(14)具有包括在5cm至200cm之间的长度,并且高压NEG泵的容积与中间真空室(10)的容积之间的比率包括在0.022与0.540之间真空泵 。
来源:金融界