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深耕近70年 实现国内干式真空泵多项零的突破:真空泵
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司真空泵。受访公司/供图在半导体制造这个“纳米级微观手术”中，干式真空泵扮演着至关重要的角色真空泵。干式真空泵能快速、干净地把芯片加工腔室里的空气和各种气体“
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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司真空泵。受访公司/供图在半导体制造这个“纳米级微观手术”中，干式真空泵扮演着至关重要的角色真空泵。干式真空泵能快速、干净地把芯片加工腔室里的空气和各种气体“